爪式泵是為半導體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下特點：
1）泵腔內(nèi)無潤滑劑,，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生,。
2）抽氣元件為非接觸式的可實現(xiàn)高速運轉(zhuǎn)（3000r/min）,。
3）與泵抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損,。
4）在泵腔內(nèi)氣流垂直運動,，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除,。
5）該泵型式多樣,，功能可以擴展,，泵的主體,，帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設(shè)備,，附件有入口處防返流的閥門,，出口處有截流閥，
電氣監(jiān)控及報警裝置。
6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,，上端蓋內(nèi)德軸承用PFPE油脂潤滑,。
7）第二、三,、四級均有凈化入口,，以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔，無此需要的可以不用通凈化氣體,，凈化氣體用三個流量計分別調(diào)
節(jié),，相互都是獨立的，以保證節(jié)約惰性氣體,，利用三個電磁閥可微調(diào)其流量,。
8）入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來,，將泵通以凈化氣體,，這些閥可自動開關(guān)，真空系
統(tǒng)有可靠得保護,，杜絕了向真空室的返流,。
9）電氣監(jiān)控與操作，主要有電源,，遠距離操作和開關(guān)閥等的控制,。
當泵出現(xiàn)故障時，泵能自動停車,，兩個閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉,。動力和遙控有一臺變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓,，
以滿足監(jiān)控過程的需要,。動力電源、繼電器用以對馬達的接通和斷開及馬達超負荷的保護,。操作流程有顯示器,，有按鈕控制，可控
制馬達,、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥,，第二、三,、四級的凈化氣體的通斷閥,，惰性氣體的主按鈕操作。啟動時門打開凈化
氣體,，泵正常運行3min,，凈化氣體向各段通入,，通凈化氣體對泵性能有影響。每當遇到緊急情況可按停車鍵,，凈化氣體繼續(xù)接通,，
關(guān)閉入口防返流閥，各級泵凈化1min,，凈化結(jié)束馬達再停車,，關(guān)閉惰性氣體截止閥。
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