爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下特點(diǎn)：
1）泵腔內(nèi)無潤滑劑,，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生,。
2）抽氣元件為非接觸式的可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)（3000r/min）。
3）與泵抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損,。
4）在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng),，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除。
5）該泵型式多樣,，功能可以擴(kuò)展,，泵的主體，帶有齒輪,、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備,，附件有入口處防返流的閥門，出口處有截流閥,，
電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置,。
6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內(nèi)德軸承用PFPE油脂潤滑,。
7）第二,、三、四級均有凈化入口,，以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔,，無此需要的可以不用通凈化氣體，凈化氣體用三個(gè)流量計(jì)分別調(diào)
節(jié),，相互都是獨(dú)立的,，以保證節(jié)約惰性氣體，利用三個(gè)電磁閥可微調(diào)其流量,。
8）入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷,，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來，將泵通以凈化氣體,，這些閥可自動(dòng)開關(guān),，真空系
統(tǒng)有可靠得保護(hù),，杜絕了向真空室的返流。
9）電氣監(jiān)控與操作,，主要有電源,，遠(yuǎn)距離操作和開關(guān)閥等的控制。
當(dāng)泵出現(xiàn)故障時(shí),，泵能自動(dòng)停車,，兩個(gè)閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動(dòng)力和遙控有一臺變壓器和整流器,，以提供所需的電流電壓,，
以滿足監(jiān)控過程的需要。動(dòng)力電源,、繼電器用以對馬達(dá)的接通和斷開及馬達(dá)超負(fù)荷的保護(hù),。操作流程有顯示器，有按鈕控制,，可控
制馬達(dá),、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥，第二,、三,、四級的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主按鈕操作,。啟動(dòng)時(shí)門打開凈化
氣體,，泵正常運(yùn)行3min，凈化氣體向各段通入,，通凈化氣體對泵性能有影響,。每當(dāng)遇到緊急情況可按停車鍵，凈化氣體繼續(xù)接通,，
關(guān)閉入口防返流閥,，各級泵凈化1min，凈化結(jié)束馬達(dá)再停車,，關(guān)閉惰性氣體截止閥,。
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