閥門在真空裝置中,，是為了分隔系統(tǒng)的各部分用的,。按其工作特性，可分為預(yù)真空閥和高真空閥,，兩者主要區(qū)別在于其出入口直徑尺寸和真空密封結(jié)構(gòu)。前者的出入口直徑,，一般在15-20毫米左右,，多用真空橡皮墊圈密封,，用于預(yù)真空部分，而后者的口徑為65,、100,、150,、180毫米或更大些，密封多用金屬墊(特別是用于超高真空部分的閥門),，只有極限真空低于10-6托時，用橡皮密封才較多,。它們在使用材料上,，均廣泛應(yīng)用黃銅,、鋼,、不銹鋼等金屬,，由于鑄造具有多孔性，故真空閥門都不用鑄件,。

對于閥桿與蓋或與閥體的密封主要形式,，不外乎橡皮的,、金屬皺紋管的兩種，薄膜的(指在閥中用被青銅或鎳皮制成的,，厚度為0.1-0.15毫米的皺紋薄膜密封,，一般其往復(fù)行程為2-4毫米)用得較少,。

在閥門孔處的密封(指關(guān)閉閥的密封),，一般是用真空橡皮。用錐形閥盤(由軟質(zhì)材料銀,、鎳或黃銅制成)與圓往形閥座(用淬火鋼)的線狀緊密貼合密封,，由于它的耐久性不好(如閥盤對閥座略為偏斜,，密封表面加工有缺陷,，以及過份壓緊閥盤而擠壓閥座,，都會使閥門不再嚴密而需修理).只用于超高真空中。而油密封及液態(tài)金屬密封,，除某些真空度要求高而導(dǎo)管尺寸不太大的系統(tǒng)外，應(yīng)用也不多,。

在設(shè)計真空閥時,，應(yīng)充分注意到它的工作特性,，合理設(shè)計結(jié)構(gòu)和提出技術(shù)條件.滿足以下幾點主要要求:

l)閥的任何地方都不應(yīng)漏氣,。

2)閥的連接部分和閥門處在關(guān)閉時的密封，應(yīng)保證真空嚴密性和可靠性,。密封零件最好可以更換,。

3)閥的出入口及閥腔，應(yīng)盡可能是直的,，使氣流少轉(zhuǎn)彎，并在閥開啟時,，有足夠大的空間供氣流通過,，有良好的通導(dǎo)能力。

4)閥的開關(guān)操作應(yīng)輕快方便,，極位(開,、關(guān),、放氣……)操作順序和轉(zhuǎn)動方向應(yīng)加標志并定位,。

5)閥的全部金屬零件(特別是內(nèi)表面)應(yīng)都是抗腐蝕的,，蒸汽壓低的，表面光潔的,。

6)閥的結(jié)構(gòu)應(yīng)簡單和便于制造,，注意焊縫應(yīng)減少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工廠條件難以加工的結(jié)構(gòu)(如真空焊接),。

常見的真空閥的典型結(jié)構(gòu)原理,。它們的操縱動力，包括手動,、氣動和電動等,。
真空閥的結(jié)構(gòu)形式，豐要分為單閥(包括二通和三通,。直通和F形,，T形)和組合閥(多通)兩種,。其中特別是高真空閥和組合閥,，在閥體上往往還要連接真空測盆接頭或其他接頭(如引電入真空的電接線柱)。

隨著我國電子工業(yè)的發(fā)展,，真空裝置為滿足新的生產(chǎn)工藝,，復(fù)雜的真空系統(tǒng)使用著許多閥門來控制，為了使系統(tǒng)導(dǎo)管長度縮短,，提高通導(dǎo)能力,，簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，并便于操作和制造,，目前已逐漸向組合閥邁進,，用一個閥來代替若干個閥的工作，并集中控制,。用于真空機組上的組合閥(又叫多擋閥)結(jié)構(gòu),，在這個閥上，集中了頂真空,、高真空,、充、放氣等閥,，并根據(jù)操作需要,，可方便地用三個手柄，控制預(yù)真空泵,、高真空泵,、儲氣桶(氣雄)、充氣瓶(或管道)與容器(指真空室)的通路的接通或斷開,，使它們各自單獨與容器接通,，或串聯(lián)工作,，或完全隔離，從而有利于不同的工藝操作,。工作容器可以安裝在閥體上部,，也可以安裝在側(cè)面。