①被抽容器 在具體真空應(yīng)用設(shè)備上統(tǒng)稱(chēng)為真空室,,沒(méi)有真空室則不能組成真空系統(tǒng),只能稱(chēng)為真空機(jī)組,。
②抽氣設(shè)備 各種類(lèi)型真空泵.
③測(cè)量裝置 各種類(lèi)型真空測(cè)量?jī)x器,。
④其他元件 真空管道、閥門(mén),、捕集器,、法蘭,、接頭、波紋管,、貯氣罐,、除塵器、繼電器等,。
根據(jù)不同的工藝需要,,采用不同的上述各種真空元件.組成具體實(shí)用的真空系統(tǒng).