(1)按性能特點和用途分類

①低真空泵:此真空泵的極限壓強高于1.33Pa的真空泵屬于低真空泵,。常見的有往復式真空泵,、旋轉(zhuǎn)式真空泵、水環(huán)式真空泵,、噴射式真空泵以及吸附式真空泵,。

②中真空泵:極限壓強在10-2~1.33pa之間的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵,、多級噴射式真空泵等,。

③高真空泵:極限壓強在10-6~10-2pa的真空泵屬于高真空泵。各種擴散泵及分子泵等屬于高真空泵,。

④超高真空泵:極限壓強低于10-6Pa的真空泵屬于超高真空泵,。超高真空泵主要有離子泵、低溫泵等,。

(2)按結(jié)構(gòu)特點分類

①機械式容積真空泵:這種泵是靠機械動作使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的,。如往復式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機械泵等都屬于此類泵,。

②射流式真空泵:這種泵沒有機械運動部件.主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空,。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵,、水噴射泵以及各種擴散泵等,。

③其他類型真空泵:這類泵多屬于獲得高真空、極高真空或高純潔真空泵的泵類,，如吸附泵,、分子泵、離子泵,、冷凝泵等,。

(3)按工作原理分類 這是真空泵的基本分類方式，根據(jù)工作原理的不同各種真空泵可分為往復式,、旋片式,、滑閥式、機械增壓式,、噴射泵,、擴散泵、分子泵,、離子泵,、冷凝泵等。