真空機(jī)組中前級(jí)泵和預(yù)抽泵的選擇是非常重要的，錯(cuò)誤的選擇會(huì)影響整個(gè)工作的流程,，甚至?xí)斐珊艽蟮慕?jīng)濟(jì)損失,。
配前級(jí)泵
前級(jí)泵直接影響主泵性能,，影響真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間和經(jīng)濟(jì)效益,。在真空系統(tǒng)中氣體處于穩(wěn)定流動(dòng)狀態(tài)時(shí),，則整個(gè)管路上任意截面的氣流最是相等的,。故管路上串聯(lián)的各泵在單位時(shí)間內(nèi)所抽走的氣體也是相等的,。但是,，管路系統(tǒng)各截面的氣壓并不相等,，各截面的抽速也就不相同。因此,，配前級(jí)泵的要求是
①保證始終及時(shí)地排出主泵所排出的氣體流量;
②在主泵出口處造成的壓強(qiáng)低于主泵的最大排氣壓強(qiáng);
③如果前級(jí)兼作預(yù)抽真空泵,，則還要滿足預(yù)抽時(shí)間和預(yù)抽真空度的要求。
配預(yù)抽泵
有些主泵,，如鈦泵和低溫泵之類,，只需要預(yù)抽泵先抽到預(yù)備真空，然后就自己獨(dú)立工作,，而不需要前級(jí)泵,。這種系統(tǒng)的預(yù)抽泵抽速，是將真空室在（一般為10~15min)時(shí)間內(nèi)抽到所要求的預(yù)真空度的抽速,。
另一些主泵,，如擴(kuò)散泵和增壓泵，它們既需要前級(jí)泵,，也需要預(yù)抽泵,。這時(shí)，可將兩個(gè)抽速進(jìn)行比較，倘若預(yù)抽泵抽速不大于前級(jí)泵抽速,，則前級(jí)泵可兼做預(yù)抽泵.不然,，則需補(bǔ)設(shè)一臺(tái)預(yù)抽真空泵。這臺(tái)補(bǔ)設(shè)的預(yù)抽泵的抽速,，為前述兩抽速之差,。
