對于一般的擴散泵,泵體多做成直筒型;對于大型泵,也有用錐筒形或凸腔形泵體。由于圓筒形泵體便于加工,,所以目前應用較多,。
泵口直徑D<250mm的泵體用無縫鋼管做成;大泵的泵體用4~10mm厚的鋼板卷成圓筒焊接而成,,焊縫不能漏氣,。泵內(nèi)壁應拋光鍍鎳。
凸腔泵體可以在不增加泵口尺寸的情況下,,使抽速得到較大的提高,。凸腔泵體是將直筒形泵體改變成局部鼓形凸腔泵體。加工方法
仍是用鋼板焊接而成,。泵的底部截面與泵法蘭入口直徑仍相同,,只是泵體在入口法蘭的下部擴大泵腔,,擴大的直徑延伸都第2級噴嘴
射流直射到的泵壁處。由于泵體凸腔,,擴大了抽氣作用空間,,增大了第一、二級噴嘴間通導能力,,也就提高了抽速,。
超高真空泵油也是很重要的問題。不適當?shù)谋帽诒砻鏈囟�,,使碰撞在擴散泵內(nèi)表面的油蒸氣分子不易凝聚,沿泵壁向下流的油層表
面溫度比泵壁溫度高的較多,,易于產(chǎn)生再蒸發(fā),,形成油蒸氣返流。所以泵壁冷卻效率要高,。一般在泵壁外面焊上螺旋形銅管或做成
水套形式(也可在水套中間裝上螺旋形鋼絲),。泵冷卻部位通常只限于蒸氣流能噴射到的區(qū)域,這樣可以使從上面冷凝下來的油在
回到油鍋前受到較高的熱度,,使溶解在油中的氣體放出,,避免它再混入油蒸氣中進入各級噴嘴,影響泵的真空度,。
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