對(duì)于一般的擴(kuò)散泵,泵體多做成直筒型;對(duì)于大型泵,也有用錐筒形或凸腔形泵體。由于圓筒形泵體便于加工,，所以目前應(yīng)用較多,。
泵口直徑D<250mm的泵體用無(wú)縫鋼管做成；大泵的泵體用4~10mm厚的鋼板卷成圓筒焊接而成,，焊縫不能漏氣,。泵內(nèi)壁應(yīng)拋光鍍鎳。
凸腔泵體可以在不增加泵口尺寸的情況下,，使抽速得到較大的提高,。凸腔泵體是將直筒形泵體改變成局部鼓形凸腔泵體。加工方法
仍是用鋼板焊接而成,。泵的底部截面與泵法蘭入口直徑仍相同,，只是泵體在入口法蘭的下部擴(kuò)大泵腔，擴(kuò)大的直徑延伸都第2級(jí)噴嘴
射流直射到的泵壁處,。由于泵體凸腔,，擴(kuò)大了抽氣作用空間，增大了第一,、二級(jí)噴嘴間通導(dǎo)能力,，也就提高了抽速,。
超高真空泵油也是很重要的問(wèn)題。不適當(dāng)?shù)谋帽诒砻鏈囟�,，使碰撞在擴(kuò)散泵內(nèi)表面的油蒸氣分子不易凝聚,，沿泵壁向下流的油層表
面溫度比泵壁溫度高的較多，易于產(chǎn)生再蒸發(fā),，形成油蒸氣返流,。所以泵壁冷卻效率要高。一般在泵壁外面焊上螺旋形銅管或做成
水套形式（也可在水套中間裝上螺旋形鋼絲）,。泵冷卻部位通常只限于蒸氣流能噴射到的區(qū)域,，這樣可以使從上面冷凝下來(lái)的油在
回到油鍋前受到較高的熱度，使溶解在油中的氣體放出,，避免它再混入油蒸氣中進(jìn)入各級(jí)噴嘴,，影響泵的真空度。
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