在真空裝置自動控制中，往往要進行真空測量，由于真空裝置種類繁多,、工作壓力范圍也不盡相同,，因此，從100000-0.00001的各個真空區(qū)域的真空測量均會遇到,。通常使用的真空計有電阻真空計,、熱偶真空計、電容薄膜真空計,、電離真空計,、超高真空計等。為了拓展真空計的功能,，真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測,、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口,、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配,。因此，一個配置齊全的真空計,，不僅能進行真空度測量,、數(shù)字顯示、量程自動切換,、誤差自動修正,，而且能在壓力設(shè)定點發(fā)出控制信號去進行壓力控制，按設(shè)定壓力值進行壓力自動調(diào)節(jié),，還能將測量值打印記錄,，并與上位機進行通信聯(lián)系，甚至還能進行遠距離真空測童與控制,。
(1)壓力控制儀
在工業(yè)生產(chǎn)和科學實驗中,，往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求，維持在某一給定值上,。這種要求通�,？梢酝ㄟ^手動調(diào)節(jié)真空微調(diào)閥來完成，倘若希望自動地完成壓力調(diào)節(jié),，就要借助于壓力控制儀來完成,。
壓力控制儀通常由真空測量單元(真空計)、壓力自動調(diào)節(jié)電路和真空調(diào)節(jié)閥組成,，它是集真空測量與壓力調(diào)節(jié)于一體的自動控制儀器,。國產(chǎn)壓力控制儀主要有HY, ZDC, SYK, DL,ZZK等系列產(chǎn)品,。
表征壓力控制儀的主要技術(shù)指標是壓力控制范圍、控制精度,、流量控制范圍,、反應(yīng)時間等。它取決于其配用的真空規(guī)管,、控制電路及真空調(diào)節(jié)閥的性能,。
壓力控制儀廣泛應(yīng)用于離子注人、離子束刻蝕,、真空鍍膜,、激光技術(shù)及半導體材料等領(lǐng)域，其使用的環(huán)境條件與同類型的真空計大致相同,。 |
