隨著國內(nèi)真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷廣泛普及,,各種真空獲得設(shè)備的發(fā)展非常迅速。目前我國生產(chǎn)的各種真空泵型號(hào),、規(guī)格,、性能參數(shù)基本上能滿足我國真空應(yīng)用發(fā)展的基本需要,特別是老產(chǎn)品都在不斷改進(jìn),,新產(chǎn)品不斷開發(fā),,取得了顯著的成績,而且滿足了各行業(yè)不同的工藝需求,。
表1列出了我國真空獲得產(chǎn)品生產(chǎn)概況,。 |
從上述情況可以看出,我國生產(chǎn)的真空獲得產(chǎn)品,,極大多數(shù)是屬于傳統(tǒng)的真空獲得設(shè)備,。高真空泵是以油擴(kuò)散泵為主,中低真空泵仍然以水環(huán)式真空泵,、旋片式真空泵,、滑閥真空泵、羅茨真空泵為主,。
我國真空技術(shù)的應(yīng)用90%左右都是集中在傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域,,如真空干燥、真空冶金,、真空熱處理,、真空吸附、真空鍍膜,、真空浸漬干燥,、真空蒸餾,、濃縮以及真空排氣、真空包裝,、制冷等行業(yè),。
近年來,國外的真空技術(shù)應(yīng)用已從傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)向半導(dǎo)體,、平板顯示(LCD,PDP,OLED),、太陽能光伏電池、化學(xué)工業(yè),、生物制藥等高端產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,,真空系統(tǒng)已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,有油的真空系統(tǒng)已被清潔無油,、耐腐蝕的真空系統(tǒng)所代替,。所以國外各種類型的干式真空泵、復(fù)合分子泵,、磁懸浮軸承分子泵和低溫泵發(fā)展很快,,市場(chǎng)上均有商品出售。而國內(nèi),,這一類產(chǎn)品基本上處于空白,,無法適應(yīng)時(shí)代發(fā)展的需要。
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