真空泵的分類讓很多外行人員摸不清楚,上海飛魯真空泵廠技術(shù)人員將完整的真空度分類整理如下,,希望對大家有所幫助,。真空泵按照工作原理可分為兩大類:
一、氣體輸送泵
1,、變?nèi)荼?
①往復(fù)式真空泵—主要包括隔膜真空泵,、活塞往復(fù)真空泵
②旋轉(zhuǎn)泵
a、油封泵—旋片式真空泵,、定片真空泵,、滑閥真空泵
b、無油泵—往復(fù)式真空泵,、多級羅茨真空泵,、爪式真空泵,、渦旋真空泵、螺桿真空泵
c,、液環(huán)真空泵—水環(huán)式真空泵,、油環(huán)真空泵
d、羅茨真空泵—普通羅茨真空泵,、氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵
2,、動量傳輸泵
a、分子泵—渦旋分子泵,、牽引分子泵、復(fù)合分子泵
b,、噴射泵—水噴射真空泵,、氣體噴射泵、水蒸氣噴射泵
c,、擴散泵—油擴散泵,、油擴散增壓泵
二、氣體捕集泵
分子篩吸附泵,、吸氣劑泵,、鈦升華泵、濺射離子泵,、低溫泵,、冷凝泵
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