對(duì)擴(kuò)散泵油的要求
擴(kuò)散泵油的性質(zhì)對(duì)擴(kuò)散泵的抽氣性能影響特別大,因而對(duì)擴(kuò)散泵油的基本要求是:
1)泵油的分子量要大;
2)為了降低泵的極限壓力,,要求泵油在常溫下得飽和蒸汽壓要低,;
3)為了使泵能在較高的出口壓力下工作,要求泵油在沸騰溫度下得飽和蒸汽壓應(yīng)盡可能大,;
4)泵油的熱穩(wěn)定性(高溫下不易分解)和抗氧化性能(與大氣接觸時(shí)不會(huì)因氧化改變泵油的性能)要好;凝固點(diǎn)和低溫黏度要低;
而且還要無(wú)毒,、耐腐蝕、成本低,。
泵油對(duì)極限壓力的影響
泵油的種類(lèi)和成分對(duì)泵的極限壓力影響很大,,在結(jié)構(gòu)相同的擴(kuò)散泵中,如果使用3號(hào)擴(kuò)散泵油,,其極限壓力只能達(dá)到10-5帕,;而改用
275號(hào)硅油,,其極限壓力能達(dá)到10-7帕,極限壓力可降低兩個(gè)數(shù)量級(jí),。
真空系統(tǒng)中被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化,,這就是泵油成分所帶來(lái)的影響。例如,,油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)中不加特殊措施很
難獲得較清潔的真空,。
泵油的飽和蒸氣壓
為了獲取高真空,希望泵油在常溫下有較低的飽和蒸氣壓,。同時(shí)又要求泵在較高的出口壓力下工作,,希望泵油在鍋爐溫度下有較高
的飽和蒸氣壓。因此,,最適合擴(kuò)散泵工作的泵油其飽和蒸氣壓隨溫度變化的關(guān)系曲線的斜度要大,。
|