1.機(jī)械真空泵,、蒸氣流真空泵工作液
水,、汞,、油是水環(huán)泵、機(jī)械泵,、分子泵、噴射泵,、擴(kuò)散泵所采用的工作液體與密封液體,。蒸氣噴射泵、擴(kuò)散泵依靠工作液蒸氣進(jìn)行噴流或擴(kuò)散抽氣,。因此在泵的鍋爐工作溫度下,，希望工作液具有足夠的蒸氣壓，而在常溫下由于油蒸氣可能會彌漫整個被抽真空容器,，成為極限真空的限制因素,，因此又希望它在常溫下有低的飽和蒸氣壓。除了對其蒸氣壓特性有一定要求外,，好的熱穩(wěn)定性,、抗氧化性及在室溫下有適中的流動性也是燕氣噴射泵、擴(kuò)散泵所要求的,。真空泵油大體可分為:石油烴,、酷、硅油,、鹵化碳?xì)浠�,、醚五大類�?br />
2.吸氣劑和吸氣劑泵材料
(1)電子管用吸氣劑
吸氣劑一般分蒸散型和非蒸散型二類。蒸散型有時也稱擴(kuò)散型或閃燒型,，如:鈣,、鎂,、銀、鋇等,，其中以鋇最為常用,。非蒸散型有時也稱涂層型或體積型，如:錯,、欽,、牡等，其中錯是常用吸氣劑的主要組分,。近年來發(fā)展的蒸散型摻氮吸氣劑,，非熬散型的鉻鋁、鉻石墨體吸氣劑有著優(yōu)異的吸氣性能,。
(2)升華泵和濺射離子泵的工作金屬
鐵,、鉭、鈮,、鉬,、釔、鈧等金屬均曾用作各種吸氣劑泵和離子泵的工作金屬,。 |
