分子真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)分子泵）是1913年是德國(guó)人蓋得（W.Gaede）首先發(fā)明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ),。
雖然分子泵是一種機(jī)械泵,但它已經(jīng)擺脫了那種靠容積變化來(lái)抽氣的容積泵原理,，而是靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面來(lái)攜帶氣體分子實(shí)現(xiàn)抽
氣的一種新型機(jī)械真空泵,。通常把高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象成為分子牽引,，或稱(chēng)為氣體的外摩擦輸運(yùn)現(xiàn)象
,。因此,，人們把蓋得發(fā)明的分子泵稱(chēng)為牽引分子泵,。這種泵具有啟動(dòng)時(shí)間短，抽重氣體比抽輕氣體快等一系列優(yōu)點(diǎn),。但由于它的密
封間隙小,，容易引起機(jī)械故障以及加工精度要求高等，除特殊需要外,，實(shí)際上很少應(yīng)用,，曾有些人做過(guò)不少改進(jìn)，出現(xiàn)過(guò)幾種不同
類(lèi)型的牽引分子泵,，但因?yàn)槌樗俚蜎](méi)有推廣應(yīng)用,，曾一度被結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的擴(kuò)散泵所代替。
德國(guó)人貝克（W.Becker）1956年發(fā)明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵,。這種泵和牽引分子泵相比,，在結(jié)構(gòu)和原理方面并不
完全相同。渦輪分子泵是以高速旋動(dòng)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的,。這種泵的極限壓力可以達(dá)到10-9帕以下,，對(duì)
油蒸汽等高分子量氣體的壓縮比很高，幾乎能達(dá)到測(cè)不出的程度,。因而殘余氣體中油蒸汽的分壓力很低,。由于軸承用的潤(rùn)滑油僅在
泵的出口側(cè)存在，故泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中入口處檢查不出油的痕跡,。因此,，渦輪分子泵可以獲得清潔無(wú)油的超高真空。這種泵如果長(zhǎng)期
不用,，軸承處的油蒸汽會(huì)擴(kuò)散到泵的入口側(cè),，降低泵所能達(dá)到的清潔程度。為了消除油蒸汽的污染,，在工作時(shí),，須對(duì)泵的入口進(jìn)行
烘烤除氣，烘烤溫度要嚴(yán)格控制,，過(guò)高會(huì)使葉片變形,。有的在停泵時(shí)，用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內(nèi),，以消除油蒸汽返流造成
的污染,。
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