對鈦升華器的要求是:能提供所需要的鈦升華率,;鈦升華率易于調(diào)節(jié),,可連續(xù)或間斷地供應(yīng)吸氣劑;鈦升華器本身出氣少或易于去
氣,;要有足夠的工作壽命,,即要有足夠的鈦儲存量,。對于不同口徑、不同工作壓力的泵,,要求的升華率和吸氣劑儲量差別很大,,可
以從每小時幾十克甚至到幾百克的升華率,上千克的儲存量,。因此很難設(shè)計一種升華器滿足這樣寬的要求,。通常可分為低升華率的
和高升華率的兩種升華器,。
低升華率的升華器大多在小型系統(tǒng)中,,用以幫助濺射離子泵啟動,或者提供較大的活性氣體抽速,,通常把升華率每小時幾十毫克,,
吸氣劑儲量為幾克到幾十克的升華器,稱為小功率升華器,。對這種升華器的主要要求是工作可靠,,操作方便,結(jié)構(gòu)簡單,。
高升華率的升華器通常用于做主泵的系統(tǒng)中,。要求升華率在每小時幾克到幾十克,特殊的也有每小時幾百克的,。為保證工作壽命,,
儲鈦量要求盡可能的多。
鈦升華器按加熱方式有電阻加熱式,、熱傳導加熱式,、輻射加熱式、電子轟擊加熱式等四種類型,。
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