非蒸散型吸氣泵多用鋯鋁合金吸氣材料（84%鋯,、16%鋁）在高溫下吸附活性氣體的特性而制成的泵,。該泵結(jié)構(gòu)簡單，體積小,，造價
低,，操作安全可靠，維修方便,，清潔無油,。對活性氣體尤其是對氫具有很高的抽氣能力。但不能抽惰性氣體,。此外還有一種鋯釩鐵
合金材料（70%鋯,，24.6%釩，5.4%鐵）作為吸氣劑的活化溫度450℃,，室下對活性氣體具有較大的抽速,。
鋯鋁泵對氫及其同位素氘、氚的吸氣是可逆的,，而對其他活性氣體的吸氣是以穩(wěn)定的化學物擴散到吸氣劑體內(nèi),，但存在飽和壽命問
題,。在10-8~1Pa壓力范圍內(nèi)抽青速率幾乎保持恒定。對氣體活性氣體CO,、CO2,、O2、N2,、H2O等的吸氣抽率,，在壓力低于10-3Pa時
，在400℃溫度下達到飽和,。該泵對活性氣體的吸氣速率隨著吸氣劑吸氣量的增加而降低。當吸氣速率隨著吸氣量的增加而達到名義
抽速的80%時,，要在高溫下再激活處理,。在激活的次數(shù)一般可達20次。
這種泵可用在受控裝置中儲存和釋放H2及其同位素氘,、氚,；在高等加速器的真空系統(tǒng)中與分子泵或濺射離子泵同時工作，能提高真
空系統(tǒng)的極限真空,；還可以用于轉(zhuǎn)運H2及其同位素,；用在超高真空裝置時，連同裝置一起放進烘烤裝置中,，不用外加電源便可作烘
烤時的維持泵使用,；也可用于濺射離子泵的啟用。
|
