非蒸散型吸氣泵多用鋯鋁合金吸氣材料(84%鋯,、16%鋁)在高溫下吸附活性氣體的特性而制成的泵,。該泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,,體積小,,造價(jià)
低,,操作安全可靠,,維修方便,,清潔無油,。對(duì)活性氣體尤其是對(duì)氫具有很高的抽氣能力,。但不能抽惰性氣體,。此外還有一種鋯釩鐵
合金材料(70%鋯,24.6%釩,,5.4%鐵)作為吸氣劑的活化溫度450℃,,室下對(duì)活性氣體具有較大的抽速。
鋯鋁泵對(duì)氫及其同位素氘,、氚的吸氣是可逆的,,而對(duì)其他活性氣體的吸氣是以穩(wěn)定的化學(xué)物擴(kuò)散到吸氣劑體內(nèi),但存在飽和壽命問
題,。在10-8~1Pa壓力范圍內(nèi)抽青速率幾乎保持恒定,。對(duì)氣體活性氣體CO、CO2,、O2,、N2、H2O等的吸氣抽率,,在壓力低于10-3Pa時(shí)
,,在400℃溫度下達(dá)到飽和。該泵對(duì)活性氣體的吸氣速率隨著吸氣劑吸氣量的增加而降低,。當(dāng)吸氣速率隨著吸氣量的增加而達(dá)到名義
抽速的80%時(shí),,要在高溫下再激活處理。在激活的次數(shù)一般可達(dá)20次,。
這種泵可用在受控裝置中儲(chǔ)存和釋放H2及其同位素氘,、氚;在高等加速器的真空系統(tǒng)中與分子泵或?yàn)R射離子泵同時(shí)工作,,能提高真
空系統(tǒng)的極限真空,;還可以用于轉(zhuǎn)運(yùn)H2及其同位素;用在超高真空裝置時(shí),,連同裝置一起放進(jìn)烘烤裝置中,,不用外加電源便可作烘
烤時(shí)的維持泵使用;也可用于濺射離子泵的啟用,。
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