一般的高真空系統(tǒng)均須采用真空機(jī)組以獲得足夠高的真空。最簡(jiǎn)單的真空機(jī)組為多級(jí)擴(kuò)散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機(jī)械泵(作為前置泵)等串聯(lián),。在多泵串聯(lián)使用時(shí)，不但極限真空要有一定的要求,，抽速之間也應(yīng)有合理的配合,，以充分發(fā)揮各泵的效能。各泵之間的關(guān)系,，可根據(jù)穩(wěn)定流動(dòng)下,，流量恒定關(guān)系來(lái)確定。
設(shè)S1為主泵的抽速,，S2為前置泵的抽速,，p1為工作時(shí)主泵的進(jìn)口壓強(qiáng)，P2為前置泵的進(jìn)口壓強(qiáng),。則主泵的抽除量為p1S1,，前置泵的抽除量為P2S2。穩(wěn)定流動(dòng)時(shí),，兩者相等,，故有：p1S1=p2S2 |
則得： 
即前置泵的抽速應(yīng)等于主泵抽速乘以兩泵的工作壓強(qiáng)比值p1/p2。因?yàn)橛衟1>p2,，故有S2<S1,即前置泵抽速比主泵抽速小,。例如，設(shè)機(jī)組工作時(shí)擴(kuò)散泵的壓強(qiáng)為機(jī)械泵的10-3倍,，即p1/p2=10-3,，此時(shí)理論上機(jī)械泵抽速僅為擴(kuò)散泵抽速的千分之一即可。實(shí)際選用機(jī)械泵時(shí)抽速應(yīng)比理論值大3~5倍,，以留有充分的余地;同時(shí)可縮短系統(tǒng)達(dá)到擴(kuò)散泵啟動(dòng)壓強(qiáng)所需的時(shí)間,。
|
