(1)氣流
真空系統(tǒng)用真空泵抽氣,,氣體經(jīng)管道流到泵里,。抽氣不斷進(jìn)行,,系統(tǒng)中的壓強(qiáng)由高而低,,氣體分子的自由程由小而大,。由以分子間碰撞為主逐漸改變?yōu)橐苑肿优c器壁碰撞為主,。在此過程中氣流性質(zhì)出現(xiàn)階段性的轉(zhuǎn)變,。成黏滯流(湍流,、層流),,黏滯-分子流(又稱過渡流)和分子流,不同性質(zhì)的氣流流過真空系統(tǒng)的阻力各異.
(2)層流
氣體分子間的碰撞數(shù)多于與容器壁的碰撞數(shù),,內(nèi)摩擦力起主要作用,,氣體的黏度影響著流速,氣體的流線呈直線,,層流管壁附件的氣體幾乎不動(dòng),,管道中心的流速最大。
(3)分子流
氣體分子的內(nèi)摩擦力已不存在,,這時(shí)氣體分子獨(dú)立而自由地通過管道的氣體量與管道兩端的壓差成正比,。
(4)黏滯-分子流
界于黏滯流與分子流之間的氣流,除發(fā)生氣體內(nèi)摩擦之外還有個(gè)別分子獨(dú)立的(無碰撞的)熱運(yùn)動(dòng)的氣流,。